Altisurf 530
Altisurf 500 및 520과 마찬가지로 얇은
실리콘 기판 등의 경우 진공 상태에서 여러
개의 부피가 큰 부품에 대한 모든 유형의
센서 및 부속품을 통합할 수 있습니다.
대형 부품의 특성화 또는 다중 샘플
측정을 위한 최신 세대의 광학 센서가
통합되어 있으며 실리콘의 깊은 조각
측정에 매우 효율적입니다.
사용 가능한 다양한 옵션을 통해 R&D,
프런트-엔드 또는 백-엔드 프로세스와
관련된 모든 측정 요구 사항을 충족할 수
있습니다.
◈ 측정 원리
▷ 크로마틱 공초점
▷ 영상 및 IR 간섭계
▷ 레이저 삼각측량
▷ 접촉 프로브
◈구조적 치수
▷ 무게: 240 kg (Z100) / 280 kg (Z200)
▷ 크기 (L x W x H): 945 x 730 x 770 mm (Z100)
945 x 730 x 870 mm (Z200)
▷ 측정 범위 (X x Y x Z):
300 x 300 x 100 mm (Z100)
300 x 300 x 200 mm (Z200)
◈사양
▷ 축 속도: 40 mm/s 까지
▷ 축의 평탄도: <2 µ/300 mm
▷ 축 분해능: 0.062 µm
▷ Z 분해능: 3 nm부터
▷ 수평 분해능: 0.9 µm부터
◈성능
▷ 스텝 높이 정확도(1 μm): 0.005%
▷ 거칠기 측정(Ra/Sa): 20 nm / 20 nm
▷ 최소 두께 측정: 4 µm